一种基于人工智能的芯片数据检测系统及方法

本发明公开了一种基于人工智能的芯片数据检测系统及方法，属于数据分析技术领域。本发明通过对每个加工步骤的每个工艺参数项的参数偏差值进行采集，判断每个工艺参数项为加工步骤所目标作用的工艺参数项；采集每个目标参数项所对应的加工步骤集合，判定每个加工步骤之间存在工艺关联关系；判断每条历史生产加工记录中异常工艺参数项；建立每个工艺参数项所对应的每个节点的第二特征偏差值的预测模型；计算每个工艺参数项所对应的最后一个节点的第二特征偏差值的预测值，当所述第二特征偏差值的预测值满足标准偏差值范围时，则继续加工。提高自动化生产的效率。