摘要
本发明公开了一种红色Micro LED芯片及其制备方法,涉及半导体技术领域,包括衬底层、种子层及红色发光元件层,所述种子层上形成有多个第一开孔,所述第一开孔的横截面构造为多角星形,且从顶部至底部,所述第一开孔的横截面积逐渐减小,且所述第一开孔具有尖底;所述红色发光元件层上形成有多个与所述第一开孔位置一一对应的多个第二开孔,多个所述第一开孔排列为多行多列。本发明具有良率可控、生产效率高的优点。
技术关键词
种子层
发光元件
掩膜图形
横截面构造
红色
衬底层
星形
半导体层
掩模
芯片
开孔位置
介质
势垒层
良率
外延
层叠
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发光元件
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