一种压电可变形反射镜面形闭环驱动与快速精确控制方法

本发明公开了一种压电可变形反射镜面形闭环驱动与快速精确控制方法，基于最小二乘优化的压电可变形反射镜影响函数矩阵求解方法，使用超高斯函数表征压电可变形反射镜制动器的影响函数；选用(P‑I)算子模型描述压电陶瓷的迟滞特性，该算子模型表达式清晰、求解容易，可实现对误差影响直接求解，从而抑制压电控制制动的可变形镜控制过程中迟滞引入的误差，提高压电可变形反射镜镜面面形控制精度和调制性能。