一种直流高压母线滤波器的制造装置

本申请属于集成电路制造工艺技术领域，公开了一种直流高压母线滤波器的制造装置，压铆模块将第一组镶嵌螺母铆压到连接铜排的螺母通孔上，形成铆压连接铜排；并采集铆压连接铜排的第一图像；根据第一图像判断铆压连接铜排是否合格；注塑模块用于将第二组镶嵌螺母与合格的铆压连接铜排进行注塑，得到连接铜排注塑件；并采集连接铜排注塑件的第二图像；根据第二图像判断连接铜排注塑件是否合格。本申请能够实现直流高压母线滤波器的在线质检，提高了良品率和生产效率。