超表面元件的设计方法和投影装置

本发明提供了一种超表面元件的设计方法和投影装置。超表面元件的设计方法包括：根据目标投射点阵确定超表面元件的准直相位和超表面元件的衍射相位根据准直相位和衍射相位得到超表面元件经p偏振光入射时的相位和超表面元件经s偏振光入射时的相位中的一者，根据目标投射匀光光场确定相位和相位中的另一者；根据相位和相位确定超表面元件的多个微纳结构的分布。本发明解决了现有技术中的超表面元件存在集成多种投射光场困难的问题。