一种射频电源的阻抗自适应匹配方法

本申请涉及电源管理技术领域，提供一种射频电源的阻抗自适应匹配方法。所述方法包括：基于预定电路特征，构建目标射频电路的三维模型；网格化处理后得到具备点位标识的网格；通过关键点筛选策略，筛选出目标关键网格集；动态监测第一关键网格，获取其网格特征时序，提取第一步进时间下的特征；利用阻抗适应度评价函数分析，得到第一阻抗适应度；构建第一阻抗适应度时序；若未满足阻抗适应度指数，则调整射频电源的初始化输出阻抗。本申请解决了射频电源输出阻抗与目标射频电路阻抗不匹配导致传输效率低的技术问题，实现了通过阻抗自适应匹配方法，提高阻抗匹配的精度和效率，确保射频电源传输效率的效果。