一种流量传感器封装方法

本发明涉及一种流量传感器封装方法，属于微机电传感器技术领域，包括如下步骤：步骤S1、制备基板；步骤S1.1、在基板上表面开设装片槽；步骤S1.2、在装片槽内底部覆铜形成覆铜层，覆铜层与装片槽前后左右内壁之间存在间隙，间隙形成微槽，然后在覆铜层的上表面开设压力平衡孔，本发明通过将芯片设置在基板上的装片槽中，使芯片上表面与基板上表面处于同一平面，消除芯片与基板之间的高度差，提高测量流体流速的精确度和稳定性；通过密封胶将芯片和基板粘接并密封，使得芯片底部无需采用胶水与基板连接，防止芯片底部胶水不平以及胶水的热胀冷缩而导致芯片上表面倾斜，从而避免悬空敏感薄膜区域上面流体介质产生变化而影响测量精度。