一种蓝宝石基多参量复合光纤传感器及其制备方法和解调方法

本发明公开了一种蓝宝石基多参量复合光纤传感器及其制备方法和解调方法，属于光纤传感器技术领域。针对传统的光纤传感器无法保证其高温鲁棒性的前提下实现对单一测点的多参量复合测量问题，本发明中提出的复合光纤传感器主要包括由三层蓝宝石材料键合形成的蓝宝石多参量复合敏感芯片以及相应封装结构，芯片上层为蓝宝石空腔结构，与芯片中层键合形成双F‑P腔，实现压力敏感，芯片中层为设有上下凸台与外部圆环的蓝宝石实心结构，用于实现温度敏感及芯片固定，芯片下层为内含方形空腔的蓝宝石三悬臂梁结构，用于实现三轴振动敏感；本发明能够通过光谱的波分复用实现单光源与单芯片条件下同一测点的温度、压力及三轴振动参量的复合传感。