摘要
本发明提供一种气相色谱集成芯片、制备方法及其应用,将惠斯通电桥与微色谱柱进行集成,可提供兼具分离检测和流速检测功能的气相色谱集成芯片,且可有效减小因分立器件的连接造成的死体积,便于气相色谱系统的微型化,提高测量灵敏度;可实现对流经气相色谱集成芯片的载气流速的精确测量。
技术关键词
热敏电阻
集成芯片
导电连接件
下盖板
上盖板
惠斯通电桥
入口
阳极键合
气相色谱系统
玻璃盖板
阵列
SOI基底
介质
轴对称
分立器件
流速
正面
色谱柱
时间差
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