气相色谱集成芯片、制备方法及其应用

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气相色谱集成芯片、制备方法及其应用
申请号:CN202510557239
申请日期:2025-04-29
公开号:CN120405008A
公开日期:2025-08-01
类型:发明专利
摘要
本发明提供一种气相色谱集成芯片、制备方法及其应用,将惠斯通电桥与微色谱柱进行集成,可提供兼具分离检测和流速检测功能的气相色谱集成芯片,且可有效减小因分立器件的连接造成的死体积,便于气相色谱系统的微型化,提高测量灵敏度;可实现对流经气相色谱集成芯片的载气流速的精确测量。
技术关键词
热敏电阻 集成芯片 导电连接件 下盖板 上盖板 惠斯通电桥 入口 阳极键合 气相色谱系统 玻璃盖板 阵列 SOI基底 介质 轴对称 分立器件 流速 正面 色谱柱 时间差
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