摘要
本发明涉及芯片测试领域,具体为一种光芯片的测试结构、测试方法及测试系统,测试结构包括:电路板,其上设置有第一基板,第一基板上设置有光芯片,光芯片具有第一表面,第一表面与第一基板通过隔离引导层相连接;第一表面上排列有多个测试引脚,隔离引导层包括:用于对至少一个测试引脚进行覆盖的隔离层,且隔离层上设置有至少一个开孔,开孔的第一端对应另外的至少一个测试引脚设置,开孔内设置有电导线,且开孔的第二端连接设置有与电导线连接的引导柱;第一基板上设置有第一电芯片。该测试结构能够使得光芯片与基板直接相连,极大简化了制备工艺;且对应的测试方法能够利用该结构实现光芯片的局部测试,降低批量测试成本。
技术关键词
光芯片
指标
测试结构
测试方法
键合结构
电导线
基板
光纤阵列
模块
电路板
数据
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接口
批量
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