高密度及可调式聚焦晶圆级光感封装结构

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高密度及可调式聚焦晶圆级光感封装结构
申请号:CN202411364414
申请日期:2024-09-29
公开号:CN118888546B
公开日期:2025-09-19
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种高密度及可调式聚焦晶圆级光感封装结构,包括圆晶封装层、硅中介层、第一芯片、第二芯片和封装胶层;硅中介层的底面贴合在圆晶封装层上,第一芯片和第二芯片通过封装胶层封装在硅中介层的顶面上,且第一芯片与第二芯片之间通过不透光的封装胶层隔离;封装胶层上间隔形成有第一槽体和第二槽体,第一槽体的底部匹配位于第一芯片上,第一槽体的顶部向上贯穿封装胶层,第二槽体的底部匹配位于第二芯片上,第二槽体的顶部向上贯穿封装胶层;第一芯片和第二芯片分别通过硅中介层与圆晶封装层电性连接。本发明涉及传感器封装技术领域,能解决现有技术中的技术问题。
技术关键词
槽体 硅中介层 芯片 封装结构 高密度 传感器封装技术 金属垫 贯穿硅 聚光槽 通孔 发射端 接收端 尺寸 激光
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