一种集成接口电路的微流量传感器及其无光刻制造方法

本发明公开了一种集成接口电路的微流量传感器及其无光刻制造方法，该制造方法包括：根据包含接口电路的初始传感器芯片中设置的分层结构，确定微流量传感器的微带线组件所处金属层结构；利用湿法刻蚀将微带线组件所处金属层周边的金属牺牲层完全刻蚀干净；采用反应性离子刻蚀以暴露初始传感器芯片中位于微带线组件一侧的顶层平板电极；将微带线组件的顶层平板电极与接口电路的顶层平板电极进行电连接，对初始传感器芯片进行封装得到对应的集成微流量传感器。上述制造方法，基于无光刻的后CMOS加工工艺，可高效地实现MEMS结构的减薄释放，实现微流量传感器的MEMS微悬桥与CMOS接口电路集成设置，达到高灵敏度、低成本的应用效果。