基于SPR与MIT技术的高精度化学芯片批量生产设备

本发明涉及芯片生产设备技术领域，尤其是基于SPR与MIT技术的高精度化学芯片批量生产设备，包括光学生产平台，在光学生产平台上设有由垂直上料模组及水平送料模组组成的用于输送芯片基材的输送机构，用于接收输送机构输送的芯片基材的生产定位机构，以及用于接收制备完成的芯片的收料组件，在生产定位机构两侧分别设有光学生产检测调节模组，以及紫外进给模组，还包括控制器；实现了芯片的自动化批量生产，解决了芯片批量生产难以产业化的同时，确保生产质量。