晶圆存取异常的检测方法、装置、设备及可读存储介质

本申请提供了一种晶圆存取异常的检测方法、装置、设备及可读存储介质，方法包括：基于机械臂的执行动作确定待检测图像和包括特征提取模块、特征组合模块、矫正模块和异常检测模块的目标检测模型；将待检测图像输入到特征提取模块，获得第一特征数据集合；将第一特征数据集合输入到特征组合模块，获得特征数据组；通过矫正模块的生成对抗网络对特征数据组进行数据矫正处理，获得矫正后的特征数据组；若通过异常检测模块根据矫正后的特征数据组和特征数据组确定特征数据组内存在异常像素点，则生成存取异常的检测结果。本申请通过执行动作确定待检测图像和目标检测模型，且基于目标检测模型检测晶圆存取是否异常，提高检测准确性。