晶圆加工方法及芯片

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晶圆加工方法及芯片
申请号:CN202411380865
申请日期:2024-09-30
公开号:CN119283208A
公开日期:2025-01-10
类型:发明专利
摘要
本发明提供一种晶圆加工方法及芯片,其中,所述晶圆加工方法包括:提供晶圆,所述晶圆具有待切割区域;在所述晶圆的背面形成目标厚度的金属层,所述金属层具有开口,所述开口暴露所述待切割区域;以及,沿着所述开口切割所述晶圆;其中,所述开口通过光刻工艺形成。本发明提供的晶圆加工方法,通过在晶圆背面形成目标厚度的金属层以增加晶圆的强度,从而可以提高器件的可靠性,且金属层不会影响其导通电阻,进一步的,对于金属层部分的划片利用光刻工艺实现,如此,可以减少对金属层进行划片的设备成本,同时也可以提高加工效率。
技术关键词
光刻工艺 光刻胶层 金刚石刀片 掩膜 晶圆背面 芯片 电阻 强度
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