一种光电导天线芯片快速测试装置及其测试方法

本发明涉及光电导天线芯片测试技术领域，提供了一种光电导天线芯片快速测试装置及其测试方法，包括光源、第一测试光路、第二测试光路、耦合触发模块、待测模块、数据采集模块和数据处理模块，使用两束具有重复频率差的光源结合激光扫描振镜与激光透镜分别激励贴近安装的发射芯片与探测芯片，并向发射芯片施加偏置电压，发射芯片在激光与偏置电压的共同作用下产生太赫兹波，太赫兹波辐射到探测芯片上，使探测芯片产生电信号，通过检测与分析电信号判断芯片质量，实现了芯片的流水线化快速测试，显著提升了芯片的测试效率。