摘要
本发明提供了一种脱胶机和基于视觉检测的脱胶方法,属于硅片加工领域,脱胶机包括喷淋装置、脱胶装置、漂洗装置、脱胶工作流线、脱胶机架、移动夹爪模块、上料车和脱胶检测组件,脱胶装置和漂洗装置横向并排布置且共用一个横移盖板组件,脱胶检测组件通过光学组件采集硅片料篮里硅片的着胶处的图像,判断是否达到脱胶标准,具有较高的脱胶检测效率,保证了脱胶的成品率,便于在光伏及半导体行业硅片的脱胶、清洗等领域推广应用。
技术关键词
脱胶方法
脱胶机
脱胶装置
夹爪模块
漂洗装置
硅片料篮
检测组件
上料车
喷淋装置
流线
盖板组件
机器人机械臂
光学组件
夹爪模组
图像采集模块
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