用于OPC模型的方法、电子设备及计算机可读存储介质

本公开的实施例涉及用于OPC模型的方法、电子设备及计算机可读存储介质。该方法包括：确定光刻胶多个平面位置的不同深度位置的轮廓线；基于各个轮廓线确定各个光刻图形的相应的关键尺寸的量测值；基于关键尺寸的量测值与关键尺寸的仿真值确定成本函数的值；以及响应于成本函数的值满足预定条件，将对应于成本函数的值的模型确定为目标OPC模型。本公开的方案能够构建具有改善精度的OPC模型。