一种芯片清洗检测设备及检测方法

本发明涉及芯片缺陷检测设备技术领域，具体涉及一种芯片清洗检测设备及检测方法，该设备包括机架、上料机构、正面高倍检测器、第一取料机构、清洗机构、中转台、HR端面检测器、AR端面检测器、正面低倍检测器、第二取料机构、背面检测器和下料机构；正面高倍检测器、第一取料机构、正面低倍检测器和第二取料机构均架设于机架上；上料机构、清洗机构、中转台、背面检测器和下料机构沿横向依次排布于机架上；正面高倍检测器设置于上料机构的上方；清洗机构、HR端面检测器、AR端面检测器和背面检测器环绕中转台设置，且正面低倍检测器设置于中转台的上方；第一取料机构能够在上料机构和中转台之间移动；第二取料机构能够在中转台和下料机构之间移动。