一种MEMS加速度计寿命评估方法、装置及设备

本说明书提供了一种MEMS加速度计寿命评估方法、装置及设备，涉及MEMS加速度计领域。该方法通过对核心应力进行步进施加，监测各个性能参数，得到核心应力极限范围；在核心应力极限范围内，构建核心应力组合试验方案，对MEMS加速度计进行恒加速寿命试验；根据恒加速寿命试验数据及性能参数退化模型分析性能参数退化量，得到不同应力水平下多个性能参数的伪寿命估计值；基于不同应力水平下多个性能参数的伪寿命估计值，根据MEMS加速度计核心应力，建立MEMS加速度计与温度、冲击、电应力和工作时间之间的多应力加速寿命评价模型。解决了现有MEMS加速度计寿命评估通常基于单一应力单一失效模式的加速寿命试验进行考核，无法对可靠性寿命进行准确评估的问题。