芯片批量镜检装置及方法

本申请公开了一种芯片批量镜检装置及方法。芯片批量镜检装置包括：箱式盒框；主体基台，设置于箱式盒框内部，用于存放待检测器件；升降机构，设置于主体基台的下方，用于在主体基台的第一表面上存放有若干待检测器件的情况下，将主体基台调整至预设高度，以利用预先设置的显微镜从低倍镜到高倍镜对若干待检测器件进行批量镜检；第一表面为主体基台的远离升降机构的表面，显微镜的设置位置与预设高度相匹配，预设高度高于箱式盒框的边框高度。根据本申请实施例，可使用显微镜从低倍镜到高倍镜对整盒芯片进行批次性镜检，避免了反复夹取放送器件的情况，提高了镜检的可靠性，大幅提升工艺效率并节省人力、时间成本。