摘要
本发明公开了一种EDA中基于有限元和边界元的电磁场求解方法。该方法通过结合有限元方法(FEM)和边界元方法(BEM)的优势,实现了对集成电路中电磁场分布的快速且精确的求解。该方法包括:步骤1:构建集成电路的几何模型;步骤2:区域离散化与基函数近似;步骤3:数值方法求解代数方程;步骤4:通过耦合算法整合内部和边界的电磁场求解结果;步骤5:精度修正与结果可视化。本发明方法能显著提高电磁场求解的精度和效率,缩短设计周期,适用于各种复杂的电路设计。
技术关键词
边界元方法
耦合算法
网格
三维互连结构
设计规则检查
缩短设计周期
集成电路结构
EDA工具
晶体管结构
数值
仿真工具
金属互连
电容元件
精度
接触孔
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