一种导热导电功率模块的制备工艺

本发明公开了一种导热导电功率模块的制备工艺，涉及半导体技术领域，包括：1：对铝散热器上的喷涂区域进行一次喷砂处理；2：在喷涂区域喷涂第一覆铜层；3：在第一覆铜层上进行二次喷砂处理；4：在第一覆铜层上喷涂第二覆铜层；5：发射激光照射第二覆铜层，使第二覆铜层的表面软化，在第二覆铜层上喷涂第三覆铜层，得到导热导电镀铜层；6：利用定向高频磁场消除导热导电镀铜层的内部应力；7：在导热导电镀铜层上直接安装芯片，得到导热导电功率模块。该工艺采用喷砂与冷喷涂交替进行，并增加了软化铜粉和消除应力的工序，不仅能消除镀铜层的内部应力和减少孔隙，还能增加镀铜层与铝散热器之间、以及铜粉颗粒之间的结合力。