摘要
本发明公开了一种半导体激光芯片,从下至上依次包括衬底、下包覆层、下波导层、有源层、上波导层、第一上包覆层、电子阻挡层、第二上包覆层,所述下波导层为光场局域效应增强下波导层;所述光场局域效应增强下波导层为InGaN/GaN超晶格、InGaN/AlGaN超晶格、InGaN/AlInGaN超晶格、InGaN/AlInN超晶格、GaN/AlGaN超晶格、GaN/AlInGaN超晶格的任意一种或任意组合,厚度为10~1000nm。本发明降低光场的内部吸收损耗,抑制激光器的折射率色散,降低高浓度载流子浓度起伏对有效折射率的影响,增强激光器的限制因子、光场局域效应和模式增益。
技术关键词
半导体激光芯片
波导
局域
空穴迁移率
包覆层
复合衬底
效应
电子阻挡层
金刚石
速率
镁铝尖晶石
周期结构
曲线
激光器
关系
石墨烯
高浓度
因子
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