基于离轴衍射的反射式叠层成像方法及相关装置

本申请公开了一种基于离轴衍射的反射式叠层成像方法及相关装置，涉及叠层衍射成像领域，包括：获取样品目标区域内不同扫描位置的衍射图像；根据衍射图像，应用改进的rPIE迭代算法进行衍射光场重构，得出样品重建的振幅和相位；改进的rPIE迭代算法是指将传统的rPIE迭代算法中的衍射传播模型替换为平行平面离轴衍射传输模型。本发明中，将传统的rPIE迭代算法中的衍射传播模型替换为平行平面离轴衍射传输模型，建立并运用一个较为简单的光场传输模型实现反射式叠层成像的重建，不涉及复杂的插值计算，简化了重建方法，并且从重建结果的清晰度，对比度和分辨率等方面，提高了重建准确性。