一种激光加工碳纳米管晶圆级表征智能统计方法和系统

本发明提供了一种激光加工碳纳米管晶圆级表征智能统计方法和系统。本发明的方法包括如下步骤：S1：在硅晶圆上生长碳纳米管阵列或网络结构；S2：利用飞秒激光对碳纳米管阵列或网络结构进行激光加工；S3：采用多尺度表征技术获取激光加工后的硅晶圆表面数据；S4：根据硅晶圆表面数据构建多模态深度学习模型；S5：根据多模态深度学习模型的输出结果进行智能统计分析并生成晶圆级表征报告；S6：根据晶圆级表征报告对激光加工参数进行优化。本发明实现了碳纳米管在晶圆级别上的精确加工和全面表征，有利于提高碳纳米管器件的制造精度和良率。