摘要
本发明涉及涡轮叶片高温变形测量技术,提供了一种用于涡轮叶片应变分析的DI C耐高温黑色散斑制备方法,所述方法包括:通过参数化散斑数学模型获取散斑图案,根据散斑图案制作散斑掩膜;将散斑掩膜粘覆在预处理后的所述被测涡轮叶片上;在惰性保护气的真空环境中,通过磁控溅射技术,依据磁控溅射参数将SiC靶材沉积在被测涡轮叶片的表面得到一层SiC薄膜,将SiO2靶材沉积在SiC薄膜上得到一层SiO2薄膜,去除散斑掩膜后得到DI C耐高温黑色散斑,通过本发明方法制备的DI C耐高温黑色散斑的质量高、各向异性均匀、散斑分布均匀,同时具有高耐温性、高吸附性、高抗氧化性、颜色深等优点。
技术关键词
SiC薄膜
散斑图案
黑色
涡轮叶片材料
SiO2薄膜
掩膜
磁控溅射技术
斑点
参数
数学模型
相机
图像
柔性
颜色
真空
靶材
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