一种扫描电镜用高信噪比的低真空二次电子探测器

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一种扫描电镜用高信噪比的低真空二次电子探测器
申请号:CN202411484753
申请日期:2024-10-23
公开号:CN119361404B
公开日期:2025-06-17
类型:发明专利
摘要
本发明涉及扫描电镜技术领域,具体涉及一种扫描电镜用高信噪比的低真空二次电子探测器。包括:电路板;探头和栅网,所述探头和栅网均连接在电路板的端部,且所述栅网罩在所述探头的外侧;电路板插座,设置在所述电路板上远离所述探头的一侧,且所述电路板插接在所述电路板插座上;遮挡板,位于所述电路板插座上远离所述电路板的一侧,且遮挡板上远离所述电路板插座的一侧连接在扫描电镜的样品室侧壁上。可通过拧动调节螺钉来改变电路板插座和遮挡板之间的间隙,电路板插座与探头连接,遮挡板与扫描电镜的样品室连接,因此可调节探头和样品室的侧壁之间的距离,从而改变探头和物镜之间的距离,可调节探头和物镜之间的距离。
技术关键词
二次电子探测器 扫描电镜 电路板 高压模块 模拟开关芯片 信噪比 遮挡板 运算电路 可调节探头 陷波电路 可调电阻 栅网 缓冲放大器 转接件 信号处理电路 真空
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