一种基于针痕照片的探针卡针痕检测方法及系统

本发明公开了一种基于针痕照片的探针卡针痕检测方法及系统，涉及半导体检测技术领域，该基于针痕照片的探针卡针痕检测方法包括以下步骤：利用摄像设备采集焊垫上的针痕图像；从针痕图像中识别针痕特征，并基于针痕特征的识别结果评估探针与焊垫的接触质量；根据筛选结果对存在异常接触的探针进行标注；利用优化算法迭代修正标注探针与焊点的接触位置，生成探针与焊垫的最佳接触点，并重复进行探针检测以验证优化效果。本发明利用小波变换提取针痕图像中的非线性特征并结合时序预测模型精确地识别和预测图像中的异常特征，结合数据切片技术将异常特征与正常特征预先分离，不仅提升了处理速度，还增加了处理数据的精细度。