一种高精度高能量三维阵列超快激光加工方法

本发明涉及激光三维制造技术领域，具体公开一种高精度高能量三维阵列超快激光加工方法，将多平面噪声阈值过滤算法用于高精度高能量三维阵列超快激光光场生成，能够将单束脉冲激光在空间上由普通的高斯分布整形为三维阵列光场，该光场三维阵列层数1‑6层可调，层间距1um至100um可调，每层最高可容纳20*20共400个激光聚焦焦点。本发明利用空间4f激光搬运系统与激光聚焦物镜，能够在任意透明材料内部实现单脉冲下的高质量三维点阵阵列结构加工，加工阵列结构最小直径达200nm，面内点阵间距500nm，面间点阵间距1um。本发明能够极大提高激光三维增减等材制造精度与效率，适用于三维制造领域。