硼扩散配方参数优化方法、装置、设备及介质

本申请涉及一种硼扩散配方参数优化方法、装置、设备及介质，其中，方法包括：获取硼扩散的样本数据、样本数据对应的样本方阻数据、以及样本数据对应的配方参数特征；基于配方参数特征以及硼扩散工艺计算公式，生成工艺参数特征；将配方参数特征以及工艺参数特征输入至初始扩散质量预测模型，并基于初始扩散质量预测模型输出的预测方阻数据和样本方阻数据构建损失函数；基于损失函数采用模型优化算法训练优化初始扩散质量预测模型，直至达到预设训练结束条件，得到已训练的扩散质量预测模型；根据已训练的扩散质量预测模型进行初始最优配方参数生成和关键工艺参数特征实时调控。