工艺参数数据的确定方法、装置、电子设备及存储介质

本申请实施例公开了一种工艺参数数据的确定方法、装置、电子设备及存储介质，该方法包括：获取预设工艺参数的预设参数数据和待预测的工艺参数的参数边界数据；根据预设参数数据和参数边界数据，对遗传算法的种群进行初始化处理，得到的初始种群中的每个个体用于指示一组工艺参数数据；将初始种群对应的工艺参数数据输入到预先训练的代理模型中，得到轮廓度偏差预测值；根据轮廓度偏差预测值计算适应度值；根据适应度值对初始种群进行优化迭代，以适应度值的最大化为迭代优化目标，直至迭代次数达到预设次数，输出目标个体的工艺参数数据。