一种具有光电检测功能的微流控芯片

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一种具有光电检测功能的微流控芯片
申请号:CN202411519016
申请日期:2024-10-29
公开号:CN119368252B
公开日期:2025-09-05
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种具有光电检测功能的微流控芯片,包括从下而上依次固定连接的衬底层、器件层、绝缘层和疏水层,器件层内设有微流控液滴驱动阵列和电学接口,微流控液滴驱动阵列通过电学接口与外界电路电连接,微流控液滴驱动阵列内设有用于驱动液滴运动的多个液滴驱动像素单元和片上光电检测区,多个液滴驱动像素单元阵列设置在器件层内,片上光电检测区与液滴驱动像素单元所形成的阵列相配合,片上光电检测区内设有相互配合的明传感器和暗传感器,明传感器和暗传感器内均设有1个光电二极管和2个双栅薄膜晶体管。本发明的有益效果为:能够实现检测灵敏度高、动态响应范围宽、抗干扰性能强的光电检测功能,结构简单,操作方便,提高了集成度。
技术关键词
双栅薄膜晶体管 光电检测功能 微流控液滴 光电二极管 跨阻放大器 驱动像素单元阵列 栅极 差分放大器 电压 衬底层 芯片 印刷电路板衬底 传感器形状 非晶硅材料
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