一种动态倾斜补偿的双轴气浮平台、控制方法及曝光机

本发明涉及气浮结构制造技术领域，特别涉及一种动态倾斜补偿的双轴气浮平台，包括用于放置定位玻璃基板的基板平台，设置于基板平台底端的微动装置，以及用于调节气浮机构平整度的X轴动态补偿调节装置和Y轴动态补偿调节装置，Y轴动态补偿调节装置分别与微动装置和X轴动态补偿调节装置的接触面之间密布有多个气浮垫，多个气浮垫通过固定螺钉相互拼接形成气浮导轨；每个气浮垫的顶端开设有均压槽，均压槽内设有用于检测气膜压力变化的气压传感器，气压传感器等距分布于气浮垫的四个边角和中心处。本发明的双轴气浮平台能够自动进行动态倾斜补偿、降低气浮平台的俯仰倾斜和横滚倾斜，提高气浮平台的运动精度，从而提高曝光机的加工精度。