一种降低晶片表面颗粒度的清洁方法及系统

本发明涉及数据处理技术领域，尤其涉及一种降低晶片表面颗粒度的清洁方法及系统。方法包括步骤：采集温度数据，获取每个温度数据的可信度，并对每个温度数据的可信度进行修正，得到每个温度数据的修正可信度，获取每个类的加权平均结果以及获取每个类的直径，根据每个类的直径的获取方法，使用费希尔最优求解法将温度数据序列划分为各个类；获取每个类的滤波窗口，根据每个类的滤波窗口，使用高斯滤波算法对温度数据进行清洗，得到清洗后的温度数据，根据清洗后的温度数据与设定的温度范围实现对晶片清洗过程中的温度数据的控制，本发明避免了噪声数据的影响，提高了分段效果，进而提高了数据清洗效率及晶片清洗过程中温度控制的精度。