监控系统

本申请涉及半导体技术领域，具体公开一种监控系统，包括中心侧和若干终端侧，每个终端侧均包括：若干半导体设备，每个半导体设备均包括若干工作模组；若干工控机，用于分别获取各半导体设备中各工作模组的运行数据；第一监控平台，分别连接各工控机，用于根据各半导体设备中各工作模组的运行数据及健康度预测模型，确定各半导体设备的健康度；中心侧包括第二监控平台，分别连接各第一监控平台，用于建立各工作模组对应的健康度预测模型，并将各工作模组的健康度预测模型部署至各第一监控平台。通过中心侧的第二监控平台与各终端侧的第一监控平台相互配合，能够对各终端侧的各半导体设备的健康度进行同步监控，有助于及时对各半导体设备进行维护。