晶圆衬底定位方法、装置、设备、存储介质及程序产品

本发明提供一种晶圆衬底定位方法、装置、设备、存储介质及程序产品，涉及半导体技术领域，该方法不依赖于晶圆衬底图像和边缘检测算法，而是通过晶圆衬底旋转过程中采集的数据进行计算，确定晶圆衬底与旋转吸盘之间的偏差，并基于晶圆衬底与旋转吸盘之间的偏差进行定位纠偏，可避免由于图像质量下降导致的定位效果不佳的问题，提高晶圆衬底定位结果的准确性和可靠性。