一种电流体按需打印基板主动调平装置及调平方法

一种电流体按需打印基板主动调平装置及调平方法，其装置包括移动式的喷印平台、微滴观测模块、工作电脑和主控板，喷印平台顶部安装有打印基板；喷印平台用于在打印基板上进行电流体的按需打印；微滴观测模块用于喷印平台在打印基板打印过程中微滴喷射的过程观测；工作电脑连接主控板，通过运动插补程序控制喷印平台的移动位移及打印基板的调平；主控板用于控制喷印平台的三轴运动、微滴观测模块的观测以及控制高压电源的波形输出；本发明能够将喷头距离基板的高度控制在0.8‑1微米，降低了静电场的电场强度波动，提高了电流体喷印的稳定性与一致性；通过计算得到的实际Z轴运动高度实现平面基板的调平；具有调平精度高，稳定性与一致性好的优点。