一种基于粒子群优化算法的CMOS工艺优化方法及系统

本发明公开了一种基于粒子群优化算法的CMOS工艺优化方法及系统。本发明采用电性预测神经网络模型、工艺预测神经网络模型、粒子群优化算法和加权适应度函数来实现CMOS工艺的优化。新引入的工艺参数预测模型能够实际制造中的工艺偏差问题，加权适应度函数的引入能够让使用者自定义电性参数优化方向，解决之前优化方向固定的问题。此外，该优化方法在加权适应度函数中引入了工艺参数重构误差，使得使用者能够自行控制优化程度，调整优化结果的可靠性。