延伸漏极MOS器件及制造方法、芯片

本发明涉及半导体领域，提供一种延伸漏极MOS器件及制造方法、芯片。所述延伸漏极MOS器件包括：衬底、P型阱区、N型深阱区、浅槽隔离区、源区、漏区及栅极，浅槽隔离区包括第一浅槽隔离区、第二浅槽隔离区以及第三浅槽隔离区，第一浅槽隔离区位于栅极与漏区之间，第二浅槽隔离区位于漏区与衬底接口之间，第三浅槽隔离区位于源区与衬底接口之间；N型深阱区包括多个相互分离的子区段，多个子区段中的一个子区段与漏区纵向相接，多个子区段中的其它子区段与第一浅槽隔离区纵向相接。本发明将浅槽隔离区下方的分段的N型深阱区作为漂移区结构，提升了器件的击穿电压和安全工作区，该器件的制造方法与CMOS工艺完全兼容，降低了制造成本。