一种太赫兹可调衰减器

本发明提出了一种太赫兹可调衰减器，包括衰减功能芯片和芯片封装盒，衰减功能芯片包括回音壁模式微环波导、两个电接触电极、加热电极、直波导、第一锥形耦合波导、第二锥形耦合波导和衬底，其中：直波导位于回音壁模式微环波导的一侧，回音壁模式微环波导和直波导构成了回音壁模式微环谐振腔；接触电极、加热电极和接触电极依次相连接，形成三段电极结构，集成在回音壁模式微环波导上；第一、二锥形耦合波导位于直波导两端；衬底用于集成制备回音壁模式微环波导、电接触电极、加热电极、直波导和第一、二锥形耦合波导。本发明提升了动态调节太赫兹信号的能力，实现了不同强度的太赫兹信号的衰减。