摘要
本发明涉及半导体器件技术领域,公开了一种红外热电传感芯片、辐射测温装置以及红外热端传感芯片的设计方法,用于解决现有技术中的红外热电传感芯片测温效果不好,容易受到干扰信号影响,检测精度较低的技术问题。该红外热电传感芯片包括:设置在衬底层上方的支撑层;设置在支撑层上方的热电堆单元;热电堆单元包括由多个电偶条组成的电偶层,电偶层其中一端的上方覆盖反射层构成热电堆单元的冷端,另一端构成热电堆单元的热端;且电偶层的热端面积尺寸大于或等于电偶层的冷端面积尺寸。本发明改善了红外热电传感芯片的测温效果,减少了干扰信号对温度检测的影响,提高了温度检测的精度。
技术关键词
热电堆
辐射测温装置
红外热传感器
半导体器件技术
尺寸
衬底层
传感芯片
矩形
轮廓
精度
参数
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