一种晶圆图形台阶高度测量方法、装置、设备及介质

本发明公开了一种晶圆图形台阶高度测量方法、装置、设备及介质，该方法包括：获取晶圆图形台阶高度测量曲线和电机移动距离测量曲线；分别对晶圆图形台阶高度测量曲线和电机移动距离测量曲线进行采样，获得预设采样个数的台阶高度测量值和预设采样个数的移动距离测量值；基于采样得到的台阶高度测量值和移动距离测量值进行直线拟合，确定截距拟合系数和斜率拟合系数；基于截距拟合系数、斜率拟合系数、台阶高度测量值和移动距离测量值，确定目标台阶高度测量值。通过本发明实施例的技术方案，以实现晶圆图形台阶高度的准确测量，提高图像台阶高度测量的准确性和重复性，有利于快速准确的检测出不良图形晶圆，极大增加了芯片生产的良品率。