实现自动称量加酸的多晶硅表面金属杂质检测系统及方法

本发明涉及半导体材料检测技术领域，具体地说，涉及实现自动称量加酸的多晶硅表面金属杂质检测系统及方法。其包括：识别模块获取样品信息二维码图像；称重模块测量空样品瓶质量、样品质量以及实时加液质量；加液模块自动向多晶硅样品中加入酸液；后台系统接收存储数据，考虑温度和湿度环境因素影响，构建温度补偿计算模型和湿度补偿计算模型，优化计算最终空样品瓶质量和最终样品质量，并使用后台系统加液控制算法计算加液质量；控制模块用于控制称重模块和加液模块；杂质检测模块用于分析金属杂质含量。本发明的设计基于后台系统加液控制算法和多模块协同操作，实现自动化加酸的杂质检测。