去除芯片表面可动多余物的方法

本发明公开了一种去除芯片表面可动多余物的方法，包括：配制浸泡溶液；采用检测工具确定芯片表面多余物的位置；将芯片浸入浸泡溶液中，使用软头毛刷在芯片表面的多余物分布区域来回扫动多次后，再将芯片在溶液中晃动多次后捞出；在芯片表面残留的浸泡溶液挥发前使用高压气枪吹干芯片表面；采用检测工具检查芯片表面的多余物残留情况，并判断是否满足预设的质量等级要求。本发明中，通过准确确定可动多余物的区域，并通过浸泡溶液浸泡后结合软头毛刷和高压气枪两种处理方式可快速有效去除芯片表面可动多余物，提升芯片表面质量；该方法操作简单高效，还可在一定程度上提升芯片表面的清洁效率。