摘要
本发明属于射频匹配器领域,具体涉及一种射频匹配器电路模型的精确校准方法。该方法先在理论射频匹配器电路的基础上建立实际等效电路模型;基于该模型通过依次校准输入互连线寄生电感L2、等效串联电感LESL1、固定电感L1和输出互连线寄生电感L3、等效串联电感LESL2的方式,使电路中寄生电感量化,量化后的电路模型使得射频匹配器中得阻抗检测器能够精确检测实时阻抗,降低了射频匹配器阻抗检测器的设计难度。
技术关键词
互连线
射频匹配器
精确校准方法
等效电路模型
功率计
阻抗检测器
电感值
电容
表达式
数值
理论
基础
定义
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