一种声表面波器件的仿真方法、装置及存储介质

本发明提供了一种声表面波器件的仿真方法、装置及存储介质，通过获取待仿真的声表面波器件的多个单元模型；针对每个单元模型，基于有限元单元法提取单元模型的自由度矢量、约束矢量和系统矩阵；约束矢量表征施加在声表面波器件的电学边界条件；根据单元模型的自由度矢量和约束矢量确定单元模型的约束雅可比矩阵；约束雅可比矩阵表征单元模型中电势自由度矢量在系统矩阵中的位置信息；基于各单元模型的约束雅可比矩阵和系统矩阵，对各单元模型进行级联处理，得到声表面波器件的仿真模型。从而可以不需要针对每种电极图案的器件均先构建不同的电极图案坐标，即可确定电极的位置信息，不仅使得该方案的普适性更高，还提高了仿真效率。