一种可修正误差的平面拉伸式Mini-LED芯片扩膜装置与方法

本发明属于Mini‑LED芯片制造技术领域，公开一种可修正误差的平面拉伸式Mini‑LED芯片扩膜装置与方法。一种可修正误差的平面拉伸式芯片扩膜装置，包括第一扩膜机构、第二扩膜机构、压膜框、扫描相机和误差修正机构。采用第一扩膜机构和第二扩膜机构用于整体拉伸蓝膜，其后扫描相机检测蓝膜上芯片的位置，修正盘通过吸附通孔吸附以局部固定蓝膜中芯片位置没有偏移的部分，再通过弹子顶起蓝膜中芯片存在偏移没有被固定的部分，对蓝膜进行局部扩张，使得蓝膜上芯片位置得以修正，以精确调整芯片位置，解决常规扩膜装置无法任意调整蓝膜局部拉伸量，无法修正局部芯片位置偏移问题。