太阳能电池制绒工序的臭氧后清洗方法及制绒方法

本发明涉及一种太阳能电池制绒工序的臭氧后清洗方法及制绒方法，属于太阳能电池制造技术领域。臭氧后清洗方法包括：S1，配置臭氧溶液：选取质量分数为37％的盐酸，按照盐酸与纯水的体积比为1L：700L在后清洗槽中配置盐酸溶液，向配置好的盐酸溶液中通入臭氧，使臭氧溶解于盐酸溶液，并控制臭氧的浓度为50±5ppm，形成臭氧溶液；S2，制绒后清洗：将待制绒后清洗的单晶硅片置于后清洗槽的臭氧溶液中进行反应，反应温度为常温，反应时间为100‑140s。本发明可以实现臭氧浓度的精确控制，从而达到良好且稳定的后清洗效果。