摘要
本发明提供了一种芯片剥离组件、一种键合设备、一种芯片剥离方法及一种计算机可读存储介质。所述芯片剥离组件包括多个剥离头及竖直旋转滑台。所述多个剥离头沿竖直平面安装于竖直旋转滑台,并相互保持预设的角度间隔,用于剥离多种不同尺寸的芯片。所述竖直旋转滑台沿所述竖直平面旋转,用于将所述芯片的尺寸的第一剥离头旋转朝上,以经由所述第一剥离头从待剥离样品上剥离所述芯片,并将不适配所述芯片的尺寸的至少一个第二剥离头旋转朝向侧方和/或下方。本发明可以用于取消拆装更换剥离头的需求,从而提升连续剥离多种尺寸的不同芯片的整体效率。
技术关键词
旋转滑台
芯片剥离方法
键合设备
平面旋转
气缸本体
平面安装
通气口
支撑座
升降机构
相机模块
齿状结构
控制器
尺寸
丝杠螺母
顶针
涡轮
可读存储介质
活塞
蜗杆
系统为您推荐了相关专利信息
助焊剂
蘸取机构
倒装芯片键合设备
柔性压紧组件
容器
平面旋转机构
上臂机构
摆动机构
人形机器人
脚部机构
智能巡检机器人
电石炉电极
旋转电机
旋转组件
升降组件