芯片剥离组件、键合设备、芯片剥离方法及存储介质

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芯片剥离组件、键合设备、芯片剥离方法及存储介质
申请号:CN202411577545
申请日期:2024-11-05
公开号:CN119447009A
公开日期:2025-02-14
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种芯片剥离组件、一种键合设备、一种芯片剥离方法及一种计算机可读存储介质。所述芯片剥离组件包括多个剥离头及竖直旋转滑台。所述多个剥离头沿竖直平面安装于竖直旋转滑台,并相互保持预设的角度间隔,用于剥离多种不同尺寸的芯片。所述竖直旋转滑台沿所述竖直平面旋转,用于将所述芯片的尺寸的第一剥离头旋转朝上,以经由所述第一剥离头从待剥离样品上剥离所述芯片,并将不适配所述芯片的尺寸的至少一个第二剥离头旋转朝向侧方和/或下方。本发明可以用于取消拆装更换剥离头的需求,从而提升连续剥离多种尺寸的不同芯片的整体效率。
技术关键词
旋转滑台 芯片剥离方法 键合设备 平面旋转 气缸本体 平面安装 通气口 支撑座 升降机构 相机模块 齿状结构 控制器 尺寸 丝杠螺母 顶针 涡轮 可读存储介质 活塞 蜗杆
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